Torrey Pines 程控晶圓加熱板是一種可編程的數字電熱板，專為烘烤晶圓硅片而設計。 在手動操作模式中，只需設置一個目標溫度，設備就會達到并保持該精確溫度在±1°C之內。 在編程模式下，程序可以存儲在內存中，以便即時調用和使用。 存儲的程序將一次又一次*相同地自動運行。

根據需要，程序可以是簡單的也可以是復雜的。 可以存儲多個溫度，溫度上升速率（如果需要）和停留時間。 這些程序可以編寫并存儲在本機隨附的分離式控制器中，或者當用戶在后部的RS-232 I / O端口連接PC上來編寫程序并通過PC運行該程序時，程序可以根據需要盡可能的簡單或復雜。

特征

1.直徑為354.24毫米（13.875英寸）的加熱表面

2.研磨的平板鋁非常適合12英寸（304.8毫米）或更小的硅晶片

3.可通過RS232 I / O端口或通過控制器從PC或工業控制器進行遠程控制

4.可使用隨附的分離式控制器對加熱板進行控制和編程

5.溫度范圍從室溫到350°C

6.可讀且可設置為1°C

7.精度為設定值的1％

8.從加熱板表面中間到側面0.75 in范圍內的溫度均勻度優于1％

9.溫度穩定性±1°C

10.校準至0.1°C以確保準確性

11.控制器可存儲5個單獨的程序，每個程序多可存儲10個步驟，以進行各種手動操作，可重復的樣品運行

12.程序可自動重復1到99次，如果需要，可以無限次重復

13.變溫可以1°C /小時的基數增量從1°C到450°C上升或下降

14.1500 W加熱器功率

15.機箱底部的*溫度指示照明環。顏色從藍色（無目標溫度）變為黃色（加熱至50°C以下）至紅色（加熱至50°C以上）。指示燈將閃爍，直到溫度穩定在±0.2°C之內

16.內置倒數計時器，帶有聲音警報和可設置的自動關閉